發(fā)布時(shí)間:2026-02-06 13:19:01 人氣:58
四川華銳凈化針對(duì)芯片半導(dǎo)體無(wú)塵車間,提供從設(shè)計(jì)到運(yùn)維的一體化 EPC 總包解決方案,聚焦高潔凈度控制、溫濕度精準(zhǔn)調(diào)節(jié)、防靜電與分子污染治理、工藝適配與合規(guī)落地四大核心方向,適配晶圓制造、封裝測(cè)試、光刻 / 蝕刻等關(guān)鍵場(chǎng)景。以下為具體解決方案與技術(shù)細(xì)節(jié):
| 場(chǎng)景 | 核心方案 | 技術(shù)參數(shù) | 適配工藝 |
|---|---|---|---|
| 晶圓制造潔凈室 | ULPA+FFU 群控 + 垂直單向流,分子污染控制 | ISO 3-5 級(jí)(十級(jí) - 百級(jí)),0.1μm 顆粒≤352 粒 /m3,VOCs≤1ppb | 光刻、蝕刻、CVD、PVD |
| 半導(dǎo)體封裝測(cè)試潔凈室 | HEPA 過(guò)濾 + 局部層流,恒溫恒濕 + 防靜電 | ISO 5-7 級(jí)(百級(jí) - 萬(wàn)級(jí)),溫度 23±0.1℃,濕度 45±1% RH,接地電阻≤1Ω | 晶圓劃片、鍵合、測(cè)試 |
| 光刻 / 掩膜潔凈室 | 千級(jí)垂直層流 + 微振動(dòng)控制,冗余空調(diào) | 溫度 23±0.3℃,濕度 45±3% RH,振動(dòng)≤0.001g,氣流速度 0.45m/s | 光刻掩膜、套刻精度保障 |
| 特殊工藝潔凈室 | 負(fù)壓 + 廢氣處理 + 高純氣體管道,分子過(guò)濾 | 萬(wàn)級(jí),壓差穩(wěn)定 25Pa,粉塵排放≤0.1mg/m3,高純氣體露點(diǎn)≤-70℃ | 濕法刻蝕、擴(kuò)散、離子注入 |
合規(guī)化設(shè)計(jì):按 SEMI S2/S8、ISO 14644-1、GB 50073 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì),采用 CFD 氣流模擬優(yōu)化人 / 物流與功能分區(qū),預(yù)留檢測(cè)與認(rèn)證接口,確保一次通過(guò)第三方驗(yàn)收。
模塊化施工:圍護(hù)用 50mm 彩鋼板 + 密封膠,地面彩砂自流平(平整度≤2mm/2m),管道 316L 不銹鋼 + 氦檢漏;自有團(tuán)隊(duì)持證上崗,關(guān)鍵工序 “每工序必檢”,APP 實(shí)時(shí)記錄進(jìn)度與檢測(cè)數(shù)據(jù),客戶可全程監(jiān)督四川華銳凈...。
精密調(diào)試與檢測(cè):PAO/ULPA 檢漏、粒子計(jì)數(shù)器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、溫濕度 / 壓差閉環(huán)調(diào)節(jié),提供第三方檢測(cè)報(bào)告,確保潔凈度、溫濕度、壓差等指標(biāo)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。
運(yùn)維保障:24 小時(shí)響應(yīng) + 定期巡檢 + 過(guò)濾器更換 + 系統(tǒng)升級(jí),配備專業(yè)運(yùn)維團(tuán)隊(duì),提供操作手冊(cè)與維護(hù)指南,延長(zhǎng)設(shè)備壽命,降低運(yùn)維成本。
超潔凈度與分子污染控制:采用 ULPA/HEPA 高效過(guò)濾 + 化學(xué)過(guò)濾器,控制 0.1μm 顆粒與分子污染物,適配光刻、CVD 等精密工藝,保障晶圓良率與性能穩(wěn)定。
航天級(jí)溫濕度精準(zhǔn)控制:運(yùn)用凈化空調(diào)恒溫恒濕專利系統(tǒng),搭配精密傳感器與 DDC 智能控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)溫度 23±0.1℃、濕度 45±1% RH 的精準(zhǔn)控制,波動(dòng)≤±1%,避免晶圓尺寸偏差。
全方位防靜電方案:采用導(dǎo)電地面 + 離子風(fēng)系統(tǒng) + 專業(yè)接地設(shè)計(jì),接地電阻≤1Ω,控制靜電≤±100V,防止靜電擊穿對(duì)芯片的損壞。
工藝適配與設(shè)施優(yōu)配:按不同工藝定制氣流組織,如光刻區(qū)垂直單向流、封裝區(qū)局部層流;配備高純氣體管道、超純水系統(tǒng)、真空與壓縮空氣系統(tǒng),滿足芯片制造的特殊工藝需求。
成都某芯片 100 級(jí)凈化車間:面積 1500㎡,ISO 5 級(jí)(百級(jí)),溫度 23±0.1℃,濕度 45±1% RH,靜電≤±100V;適配芯片封裝測(cè)試,產(chǎn)品尺寸精度誤差從 0.005mm 降至 0.002mm,良率提升 10%。
半導(dǎo)體封裝企業(yè)千級(jí)無(wú)塵車間:面積 2000㎡,ISO 6 級(jí)(千級(jí)),溫濕度精準(zhǔn)控制,產(chǎn)品尺寸精度誤差從 0.005mm 降至 0.001mm,產(chǎn)能提升 15%。
華銳凈化以全資質(zhì)合規(guī)、參數(shù)精準(zhǔn)可控、品質(zhì)與效率雙保障,為芯片半導(dǎo)體無(wú)塵車間提供從方案到交付的全流程服務(wù),助力客戶提升產(chǎn)品良率、縮短工期、降低運(yùn)維成本,適配晶圓制造、封裝測(cè)試等高端場(chǎng)景的嚴(yán)苛要求
